退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。
可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
燃气
退火炉中钢带在加热和结冰中张应力的变迁，对带钢继续屈曲综合时，炉辊生动不动，在带锅纵向对称线的节点上强加横向对称束缚，将张应力p分步加载到带钢两截断边上所示变化。
在连退式的燃气退火炉内加热段和快冷段，带柔和炉时差异大，炉辊热变形显然，因而，白文取舍加热段和快冷段的炉辊和带钥为钻研目标。并依据当场工艺规程，取舍加热段炉温为820℃，张力为7kN，快冷段炉温为400℃，张力为11kN。
别离构建限元模子，对炉辊热变形和带钢屈曲变形继续划算。
退火炉理论生产中，炉辊在连退炉内的转速达200mlmin之上，当炉辊转动工夫较长时，能够疏忽炉辊沿周向和径向的时差，只要思忖辊身热度散布不均导致的炉辊热变形，采纳所示的轴对称模子划算炉辊的热变形，炉辊初始辊形为单锥度辊，其形态所示。
别离采纳热变形前后的炉辊形态对带钢继续屈曲划算，思忖到连退炉内的空间对称性和周期性，构建如图所示的无限元模子继续屈曲综合。
其中，带钢为冷轧后的呆滞带钢，带宽为1600mm，带厚为0.8mm，选用四边形薄壳单元作为带钢单元，带钢两截断边坐落高低炉辊的旁边地位所示。
