退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。下面，听一听分析退火炉一些常见故障有哪些？
退火炉故障出现后，监控主画面上方会出现报警提示，根据提示内容可初步判定故障设备，报警具体如下：V101阀位报警、V105阀位报警、加热段煤气换向报警、加热段空气换向报警、保温段煤气换向报警、保温段空气换向报警。
其中，V101阀即加热段煤气快切阀，V105阀即保温段煤气快切阀，每一设备由动作部分和阀位反馈部分组成，动作部分由电磁阀带气动元件发生动作。
故障排查：出现上述报警后，首先查看报警设备在监控主画面上显示的颜色，确定其状态。
若快切阀显示为黄色，换向阀显示为红色“X”，即是行程不到位，检查行程是否脱离设备，若无脱离，可打开行程开关，检查行程内凸轮是否出现不到位情况，适当调整使之较大弧度处压上弹簧片即可。
若快切阀或换向阀显示为红色或绿色之一，可判定其行程正常，排查重点在动作部分，检查动作部分时，先于现场观察电磁阀两插头是否有一个亮灯，若两个都不亮，则为电气故障。
然后，若有一个亮，可把两插头取下，用亮的插头在两个电磁阀插座上轮流插拔试验，若汽缸不动作，则为机械故障。若汽缸动作，则为电气故障。
调节阀可参考其关联温度判断设备是否工作正常，若出现故障，先关闭电源控制柜内其工作电源，打开现场阀盖，在确认阀内模块不带电的情况下，用内六方扳手旋转阀体，若旋转感觉很卡，则为机械故障，若感觉旋转顺畅，则为电气故障。
此处模拟量指温度、压力和流量等。除空气总管压力和煤气总管压力外，其余模拟量不参与控制。
