目前退火炉加热大都为管式炉或马弗炉,原理为加热丝或硅碳棒对炉体加热,加热与降温速度慢,效率低下,也无法实现温度的高精度测量,加热区域也存在不均匀的现象,可实现宽域均热区,高速加热、高速冷却,用石英管保护加热式样,无气氛污染,可在高真空,高出纯度气体中加热,设备可组成均热高速加热炉,温度斜率炉,阶段加热炉,是一种目理想的退火炉。
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